“一次性通過了Coherent(相干)公司的測試，是公司電子特氣發展的關鍵一步”，凱美特氣董秘張偉9月26日晚接受財聯社記者采訪時表示，子公司凱美特電子特氣生產的激光混配氣通過相干公司的測試，將有助于拓展電子特氣在飛秒激光手術等多個激光器領域的應用。由于激光器也是光刻機的重要組件，此次測試也為未來在芯片加工等領域的應用迎來了關鍵一步。

9月26日凱美特氣公告，稱電子特氣公司生產的用于ExciStar 激光器的193nm激光混配氣已在Coherent(相干)德國公司設備上經過了測試，并于 2021年9月 24日收到 Coherent(相干)公司發來的針對以 上激光混配氣產品通過其測試結果的確認函。

據了解，成立50余年的Coherent(相干)公司，是一家為科學、商業和工業客戶提供激光和基于激光技術的全球供應商，提供從激光測量和控制產品到精密光學和激光系統的產品，產品服務于科研、 醫療、工業加工等多個行業。

張偉介紹，通過Coherent(相干)公司的適配性測試，是電子特氣在全球激光應用領域的“一道關”。公司產品一次性獲得通過，證明了公司準分子激光氣體的產品質量以及在電子特種氣體領域的鋼瓶內壁處理技術的能力，含氟 ppm 級別多組分氣體混配以及氣體分析等綜合實力已達到國際一流水平。

準分子激光氣體可廣泛應用于醫療、光刻、OLED 顯示等行業，對于公司未來批量銷售電子特種氣體產品具有積極意義。公司還將與相干公司配合進行多批次送檢測試，以建立最佳的適配參數。

張偉介紹，此外，由于激光器也是光刻機的關鍵組件，本次測試獲得通過，對公司產品今后在芯片加工等領域的應用也是關鍵的一環，“如果說通過阿斯麥爾光刻機的認證需要四步，目前接近到了第三步的樣子。”

不過，凱美特氣昨晚的公告也稱，本次產品測試的確認函暫時未對公司營業收入、利潤造成影響。認證程序還有多批次測試，目前尚未實際形成產品銷售以及協議的簽署。

電子特氣等工業用氣的“卡脖子”問題近年以來得到重視，今年工信部還為此召開專門會議。凱美特氣對此重視較早，在2018年成立電子特氣公司進行攻關。

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