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    濱松推出用于表面發射激光器的新型集成技術
    材料來源:MEMS公眾號           錄入時間:2021/11/16 21:10:34

    近日,濱松光子(Hamamatsu Photonics)宣布其開發出一種高密度集成技術,用以創建iPMSEL(可集成相位調制表面發射激光器)陣列元件。該公司表示,作為全球最小級別的半導體激光器,它能夠發射2D模式的激光束。濱松在一份聲明中表示:“通過利用這項技術,我們成功地開發了一款iPMSEL陣列,該陣列由16個發光單元組成,在面積為2 mm2的微型芯片上形成四排四列的布局。”

    上述芯片上的每個iPMSEL陣列單元都可以獨立控制,以切換其所輸出的激光束圖案,從而使該iPMSEL陣列適用于需要高精度的三維測量儀器(系統)。該陣列由16個iPMSEL陣列單元組成,每個單元大是邊長約為200 μm的正方形,并在2 mm2的芯片上完成高密度和高精度一體成形。該陣列在發射激光束的同時,通過對每個發光單元的電氣控制來實現各種高精度激光束圖案之間的切換輸出。

    左圖:iPMSEL陣列由16個發光單元組成;右圖:由VCSEL、DOE和iPMSEL陣列組成的光束模式光源概念圖

    iPMSEL陣列能夠切換輸出10000多個點、條紋、網格、字符、CG等圖案。濱松表示,他們已開發出利用其自主的全息設計和精微加工技術,以及基于光子晶體表面發射激光器的iPMSEL發光單元。光子晶體垂直腔面發射激光器是以京都大學野田研究室所開發的二維光子晶體(按光波長尺寸排列的微型結構)作為諧振器的垂直腔面發射激光器。

    濱松補充表示,其目前開發的iPMSEL陣列能夠執行高精度3D測量,例如相移法。據悉,相移法(phase-shifting method)是一種通過將周期性輸出的二維光束圖像照射到目標物體上,并解析由物體形狀產生的光束失真,從而達到對表面三維形狀進行高精度測量的一種技術。

    此外,iPMSEL陣列還可用于提高3D動作捕捉和3D臉部識別的準確性。通過高密度集成技術實現的小型輕量化優勢,它還可被應用于醫療和工業領域的緊湊型便攜式光纖內窺鏡等設備中。

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